デスクトップ型メタルマスク検査装置 Maskチェッカ ・Maskインスペクタ
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| 機能 | 仕様 |
| メタルマスク 検査装置 Mask チェッカ |
メタルマスク データ作成・検査装置 Mask インスペクタ |
メタルマスクをスキャンし、メタルマスク製造時や出荷時のCADデータ比較検査、印刷使用前後保守での良品データやCADデータ比較による良品比較検査、目視検査に変わるフレキシブルな形状不良開口数検査を行えます。
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メタルマスク製造時の検査や使用前後の保守検査に加え、基板・フィルムなどからのメタルマスク製造データ作成（マスクビルダ）機能を備え、メタルマスクの製造・使用を、1台でトータルに支援いたします。 |
CADデータ比較検査自動位置重ね合わせ機能を搭載し、自動直交補正や自動伸縮補正により、開口寸法不良や位置不良などの検査を、簡単操作で行えます。良品比較検査良品スキャンデータと比較し、印刷後の洗浄確認や変形などの異常を検出します。形状不良開口数検査CADデータ比較なしで、拡大目視検査と同様以上の検査を自動で行えます。フレキシブルな解像度による形状認識エンジン搭載により、バリやスパイク突起といった形状不良・ピンホールを検出すると共に開口数検出により開口欠如も検査できます。 |
メタルマスク製造データ生成基板・フィルムなどをスキャンしたデータやガーバーなど基板設計データから、はんだ印刷マスク製造データを生成します。基板メーカーや基板ロットごとに微妙に違うパッドサイズも、基板現物のパッドサイズ・位置からのはんだ印刷マスク製造データ作成で、実装不良の極めて少なくすることができます。カラー認識不要のフィルムからのデータ作成は、ほぼワンクリックの簡単作成が可能です。 CADデータ比較検査良品比較検査形状不良開口数検査 |
機能スキャニング新採用の透過光/反射光切替ユニットにより、基板のみでなくフィルムからも高解像度画像が得られ、より高密度基板用メタルマスクデータを生成でき、30µ以下の変形アパーチャの検査を可能としました。基板配置密度や検査マスクに合わせ、スキャン分解能を設定できます。新フルカラー画像補間変換エンジンにより、スキャン画像から最高分解能5µmの検査データが得られます。 |
| 非開口部分 最小検出サイズ | |||
| スキャン解像度(dpi) | ラスタ（μm） | フィルタ最小値(μm) | ガーバー(μm ) |
| 4800 | 10 | 5 | 1 |
| 4000 | 13 | 6 | |
| 3200 | 15 | 8 | |
| 2400 | 20 | 11 | |
| 2000 | 25 | 13 | |
| 1600 | 30 | 16 | |
| 1000 | 50 | 25 | |
