研究開発用 超微細加工 超短パルスレーザー加工機
熱影響がほとんどない超短パルスにより、サファイヤ・LCP・LTCC・マイカ・シリコン・フェライト・アルミナ/セラミック・水晶ガラスなど幅広い材料を、多彩に非接触で加工します。
加工例
LS301PU
 |
- 加工範囲： 350ｘ300ｍｍ
- レーザ波長 355 nm
- レーザ出力 17、36W
- レーザスポット径 約20 μ m
- ＸＹ位置分解能 0.5 μ m
- 繰返し精度 ± 2 μ m以下
- カメラシステム 搭載
- バキュームテーブル 搭載
- 付属ＣＡＭソフト Circuit CAM V7
- 大きさ(WxLxH) 890x1270x1630mm
- 注: エアー必需
|
